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CHINMAX PRODUCT

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日本SANYU快速濺鍍機

  • 實驗型導電膜濺鍍機

實驗型導電膜濺鍍機

產品特色

SC-701MK II

  • **小巧緊湊
  • **標配間歇噴濺功能
  • **可輕鬆製作電極膜的桌面型緊湊DC濺射

【日本SANYU快速濺鍍機】

使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓，讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿，並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，以能量轉移方式，將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上，進行薄膜沉積。

SC-701MK II

ターゲットサイズ49mm dia. ／ Aux1
試料台サイズ50mm dia.

(T-S間調節範囲　20,30, 40mm)
排気操作手動式
スバッタ方式DCマグネトロン／平行平板型
間欠スバッタ機構Duty cycle 20%
高圧電源1.2kv／0～9.9Ma
到達圧力5Pa
チャンバーサイツ90(dia.)x90(depth)mm

(SUS製)
タイマー0～15 min (最長30min)
ガス導入機構ニードルバルブ

導入口径外径Φ６mm ワンタッチ継手
排気装置直結型ロータリーホンブ

20L／min(自動リーク付)
設置電源单相AC100V±10% 50／60Hz 7A
寸法‧重量本体：160(W)x326(D)x286(H)mm, 10kg

PP：295.5(W)x156(D)x199.5(H)mm. 9kg
オブションターゲットAg, Pt, Pd, Au-Pd, Pt-Pd