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CHINMAX PRODUCT
中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器
非接觸式表面輪廓粗度計
- **再現性:1σ=0.03um(鏡面標準片量測)
- **雷射光點聚焦:ψ1um(obj.x100)
- **載物台精度: (2+4L/1000)um
- **長行程工作範圍 (客製化可)
- **XYZ 載台60x60x130 mm
- **XYZ 解析0.1x0.1x0.01um
- **內建防震系統、量測數據再現性佳
- **粗度分析：ISO4278、JIS B0601、ASTM B46.1
- **ISO25178 表面形貌量測
- **應用：各種元件之表面形貌特性分析，粗度、輪廓、磨耗、CAD比對…等
【詳細說明】
- **一般用alpha setp方法掃描樣品之表面輪廓多半使用接觸式方式,但是接觸式的方式有樣品限制,例如: 軟質材料易被接觸式觸針刮傷樣品表面,較深或高Pattern樣品無法正確量測到樣品底部輪廓,半球面如micro lens array表面輪廓
- **本量測儀器掃描step height, 採用ISO認可之點雷射自動聚焦探針量測法(PAP),唯一高精度雷射量測自動聚焦表面輪廓計,優勢在於重複精度高,可量測高深寬材料,透明材料也可以量測可量測樣品範例如 : 表面輪廓 , 表面粗度, V Groove 輪廓 , 體積磨耗 , 尺寸段差角度, 平坦度量測, step height, ...等
- **產品應用: 精密滑軌,精密螺絲,精密齒輪,玻璃面板,生物晶片,橡膠製品,半導體晶圓,隱形眼鏡,油脂...等
- **點探針式自動聚焦光學量測法掃描式雷射顯微鏡,本試驗法已通過取得ISO25178-6:2010非接觸測定法之點自動聚焦雷射輪廓(PAP) 量測精度高,多數用於精密材料之表面輪廓粗度測試,如導光板,光學鏡,半導體膜厚粗度分析
SJ-310 小型表面粗度計
機型選擇表
| 機型 | SJ-310標準驅動 | SJ-310R退避型驅動 | SJ-310S橫向驅動 |
|---|---|---|---|
| 三豐編號 | 178-571-01A | 178-573-01A | 178-575-01A |
| 測定力 | 0.75 mN | ||
| 固定長度(X軸) | 16mm | 5.6mm | |
| 固定範圍(Z軸) | 360µm(-200µm~+160µm) | ||
| 解析度/測定範圍 | 0.02 µm / 360 µm, 0.006µm / 100µm, 0.002 µm / 25um | ||
| 任意測定長 | 0.3~16 mm (0.01mm 間隔) | 0.3~5.6 mm (0.01 mm間隔) | |
| 參數值 | Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, S, Pc, R3z, mr(c), Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr, sk, ku, Δα, Δq, Wte, Wx, W, AW (共35個參數) | ||
| 適用規範 | JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, ISO' 97, ANSI,VDA | ||
| 輸出功能 | USB/RS-232C/SPC輸出 | ||