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CHINMAX PRODUCT
中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器
蛍光X線式膜厚計 EX-851
- 2つのモードから選択可能で、用途に合わせたスムーズな測定作業を可能にします。
- 膜厚測定中のスペクトル表示マルチチャンネルによるスペクトル分析高速処理により、 簡単な測定物のスペクトル表示を実行 ( 処理速度2~3秒)
機型規格表
| 規格 | 手動台座型 | |||
|---|---|---|---|---|
| EX-851 | 測量台尺寸(mm) | 200x200 | ||
| 移動行程 | X（mm） | 200 | ||
| Y（mm） | 200 | |||
| Z（mm） | 90 | |||
| 受測物高度(毫米)) | 90 | |||
| 外觀尺寸(mm) | 740(W)x530(D)x660(H)*不包括突起 | |||
| 重量(kg) | 85 | |||
| 樣品負載(kg) | 1 | |||
| 電源 | AC100V/220V +- 10V | |||
| X射線源 | 油浸式緊湊型微焦點X線管 目標:鎢 管電壓50kV 可變管電流 | |||
| 照射方式 | 頂部垂直照射法 | |||
| 探測器 | 比例計數器 | |||
| 准直器 | 基礎5種(自動切換型)0.1、0.2、0.5、1.0、2.0ψmm (選項):0.05,0.1,.0.2,0.3,0.5ψ、0.05x0.5,0.5x0.05,0.1,0.2,0.5ψ | |||
| 樣品觀察 | (CCD彩色相機(自動對焦 | |||
| 測量對象 | 原子序數22(Ti)~82(Pb)、原子序數21以下可用吸收法測定 | |||
| 篩選 | 2種(Co、Ni)自動切換 | |||
| 校準曲線 | 校準曲線自動創建功能、多點校準曲線 | |||
| 補正機能 | 基材補正 | |||
| 應用 | 單層電鍍測量、2 層電鍍測量、3 層電鍍測量、合金膜厚组分比的同步測量、化學鎳測量 | |||
| 測量功能 | 自動測量、輸出格式設置、頻譜測量、兩點之間的距離測理 | |||
| 自動表功能 | 自動對焦、測量位置指定(XY)、原點校正功能、測量位置確認功能、自動校準 | |||
| 數據處理功能 | 自動對焦、測量位置指定(XY)、原點校正功能、測量位置確認功能、自動校準 | |||
| 安全功能 | X光電源開關、故障安全功能 | |||
| 其他特性 | 測量台座標顯示、設備维修 | |||
※(注) 規格如有更改恕不另行通知。
株式会社 電測 DENSOKU EX-731
蛍光X線式膜厚計 EX-731
- 優れた操作性で極微小部を最高の精度で測定大きなサイズの基盤も測定可能
- コリメータの最小が0.05φmmで極微小部の測定が可能 IBM/PC コンパティプル対応型パソコンを使用
機型選擇表
| 規格 | 手動台座型 | 自動台座型 | ||
|---|---|---|---|---|
| 內部規格 | 尺寸（mm） | 170 × 110 | 300 × 280 | |
| 移動行程 | X（mm） | 70 | 80 | |
| Y（mm） | 70 | 60 | ||
| Z（mm） | 80 (受測物最高可達150) | 50 | ||
| 受測物高度(最大) | 80 (可選購150) | 50 | ||
| 外觀尺寸(mm) | 600（W）×465（D）×730（H） | |||
| 重量(kg) | 79 | 85 | ||
| 受測物重量(kg) | 3 | 2 | ||
| 電源 | AC110V±10V | |||
| 線源 | 油浸式小型微焦點Ｘ線管 管電壓50kV 管電流可變 | |||
| 照射方式 | 上方垂直照射方式 | |||
| 照射孔徑 | 備有五種孔徑,可自由切換 最小孔徑達0.05φmm | |||
| 試料観察 | CCD彩色攝影機 | |||
| 濾鏡 | 2種類（Co,Ni）自動切換 | |||
| 應用範圍 | 單層膜厚測定 2層膜厚測定 3層膜厚測定 合金膜厚成分比同時測定 無電解鎳測定 | |||
| 測定機能 | 自動測定 輸出格式設定 光譜測定 | |||
| 資料處理機能 | 統計量表示：平均、標準偏差、最大、最小、範圍、Cp、Cpk 直方圖 個人資料表示 測量資料3次元表示 ｘ-R管理圖 | |||
| 安全機能 | Ｘ線電源鑰匙開關 故障安全保護機能 | |||
※(注) 規格如有更改恕不另行通知。
株式会社 電測 DENSOKU COSMOS-3X
- **小型省空間
- **極佳的操控性
- **最高精度測定微小部位
- **在雙過濾器採用最高的精度，可在最佳條件來測量
- **最小孔徑達0.05φmm,可測定極小部位
機型規格表
| 規格 | 手動台座型 | |||
|---|---|---|---|---|
| 內部規格 | 尺寸（mm） | 170 × 110 | ||
| 移動行程 | X（mm） | 70 | ||
| Y（mm） | 70 | |||
| Z（mm） | 80 | |||
| 受測物高度(最大) | 80 | |||
| 外觀尺寸(mm) | 402（W）×430（D）×58（H） | |||
| 重量(kg) | 48 | |||
| 受測物重量(kg) | 3 | |||
| 電源 | AC110V±10V | |||
| 線源 | 油浸式小型微焦點Ｘ線管 管電壓50kV 管電流可變 | |||
| 照射方式 | 上方垂直照射方式 | |||
| 照射孔徑 | 備有五種孔徑,可自由切換 最小孔徑達0.05φmm | |||
| 試料観察 | CCD彩色攝影機 | |||
| 濾鏡 | 2種類（Co,Ni）自動切換 | |||
| 應用範圍 | 單層膜厚測定 2層膜厚測定 3層膜厚測定 合金膜厚成分比同時測定 無電解鎳測定 | |||
| 測定機能 | 自動測定 輸出格式設定 光譜測定 | |||
| 資料處理機能 | 統計量表示：平均、標準偏差、最大、最小、範圍、Cp、Cpk 直方圖 個人資料表示 測量資料3次元表示 ｘ-R管理圖 | |||
| 安全機能 | Ｘ線電源鑰匙開關 故障安全保護機能 | |||
※(注) 規格如有更改恕不另行通知。