多功能桌上濺鍍機
SC-701MK II ADVANCE
- 能使用Ni、Cr、W、Ti、Al等多種靶材相容
- 配備真空計以確保成膜條件的再現性
- 小型、緊湊高規格
- 手動快門標準設備
日本SANYU快速濺鍍機
使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓，讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿，並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，以能量轉移方式，將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上，進行薄膜沉積。
SC-701MK II ADVANCE
| ターゲットサイズ | Φ49mm ／ t0.5mm(Max) |
|---|---|
| 適用可能たーゲット | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
| 試料サイズ | Φ50mm(Max) |
| 手動式シャッたー | 標準裝備 |
| T-S間調節範囲 | 20mm/30mm/40mm |
| 排気操作 | 手動式 |
| スバッタ方式 | DCマグネトロン／平行平板型 |
| 到達圧力 | 1Pa以下 |
| 圧力測定 | ビウニー真空計 |
| 圧力制御 | ニードルバルブ 導入口径外径Φ６mm ワンタッチ継手 |
| ブロセス時間 | 最大15min |
| ブロセスガス | Arガス(導入圧力：0.1MPa以下) |
| チャンバーサイズ | Φ90xD90mm (SUS製) |
| タイマー | 0～15 min (最長30min) |
| 排気装置 | 直結型ロータリーホンブ 20L／min(自動リーク付) |
| 所要電源 | 单相100V±10% 10A 50／60Hz |
| 寸法‧重量 | 本体：200(W)x450(D)x290(H)mm, 9kg PP：295.5(W)x156(D)x199.5(H)mm. 9kg |
| 使用環境 | 溫度：20℃±5℃ 湿度：75%RH以下(結露なきこと) |