KFM-XPERT

• 兼具共軛焦及白光干涉測定科技，非接觸，非破壞及快速量測特點。
• 微結構物高解析3D測定只需幾秒間。
• 可測定高/低反射、透明表面之微結構。
• Z軸解析度精度:0.01um to 0.1nm(依搭配鏡頭決定)。
• 可測定參數項目：粗度、膜厚、斷差、2D/3D剖面、輪廓形貌、間隙溝深、角度、平/共面度、彎/翹曲...

• 生物工程、半導體科技、光電科技、MEMS、光學製造、奈米工程、鋼鐵、汽車、塑膠、造紙業
• 量測項目：結構組織量測、粗度量測、3D形貌幾何量測
• 適用區段：入料檢查、生產管制、製程改善、品質檢驗、故障分析、產品R/D及學術研究

微透鏡陣列

牙本質表面

陶瓷加工

雷射蝕刻

觸控面板電路

POP錫球結構